炉体结构

高纯氧化铝纤维作为炉膛材料

采用三可加热区，可达到600mm长的恒温区
外径304mm.内径203mm的石英管，带有不锈钢密封法兰●一个电动滑轨，上面装载石墨 舟和样品
高纯石墨舟，可转载12片圆片或方形片，尺寸可达6英寸●1000W RF (13. 5MHz)等离子电源
4通道混气系统

电源要求
208- 240VAC，单相，50/60Hz●9KW

石英管&法兰

外径904mX内径203mmX长度1300mm
设备包含- 根石英管，可购买备用石英管
配有SS304不锈钢法兰，带有KF40真空接口&阀i ]和进气口出气口●安装有- 套双滑轨，直流电机驱动法兰和样品舟移动进出石英管
石墨舟采用高纯石墨(产自日本)制作，带有F电极
12个插槽(4X3)可装载样品尺寸6英寸X6英寸X0.5nn]厚度或直径6英寸圆片●客户可定制石墨舟(4X 4或5X4)

管式炉

加热元件: NiCrA1合金丝
加热区: 3个加热区(00ma+ 30m+ 300m))
恒温区: 60m( +- rc,3个温区设置同样的温度)●工作温度: 40-1100
最大加热冷却速率: 10C/min

温控系统
500型欧陆(Eu otem)仪表,可设置24段升降温段●3根型热电偶
控温精度: +/- 0.1°C
包含软件和Pc界面模块

射频等离子电源
输出功率: 201000 (可调节,稳定性士1%)●RF频率: 13. 561MHz
匹配方式:自动匹配
冷却:空气冷却
噪音: <50dB
输入电源: 110-2407AC, 50/60Hz

供气系统
一个质量流量计安装在一个移动架内，控制精度:土1585,重复精度:
土0. 2XKFS
控制1: 0~100SCM
控制2: 1 199SCM
控制3: 1199SCM
控制4: 1499SCCM
触摸屏控制,设置各种参数

安装有RS485接口，用于通过PC远程控制

每个工位的流量控制范围可按客户要求定制

真空泵&真空计
一个防腐型数显真空计，测试范围可达到10-5torr

设备使用需要真空泵，可在本公司选购各种真空泵

净重
500kg

质保
一年质保期，针对于电器和机械部分，不包含加热元件，石英管,密封圈

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