混气系统2路浮子-（气、液、固）进料系统-合肥升利微电子科技有限公司

混气系统2路浮子

产品型号：CGM-2F

产品品牌：上海升利

产品概述：

CGM-2F是一款小型的两通道混气系统，用于惰性气体的控制，可用以小型管式炉，手套箱，等离子清洗机，小型PECVD系统等。

主要特点
适用于低压小流量,多种气体单一-/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。
显示流量准确，可有效控制气体的消耗量。
重量轻,方便移动。
使用方便，无需通电。

基本参数

浮子流量计的量程: 16-160m1/min压力表量程: -0. 1-0.15Mpa
通气管道: s06. 35mm的聚四氟管

混气罐
内置-一个不锈钢混气罐，可以良好的混气
采用ss304不锈钢
三管件接口直径为1/4”(接管可选聚四氟或不锈钢)

尺寸

340m(L)_ x 300mm(W) x 180m(H)