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膜厚监测仪

产品型号:EQ-TM106
产品品牌:上海升利
产品概述:
EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。

主要特点

本机可与计算机连接。

显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM
控制输出的百分比等工作状态。

通过软件或显示仪可对门]控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置,并可将所测相关数据写入Excel文件。

具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。


EQ-TM106-1监测组件

电源: DC5V (土10%),最大电流400mB
频率分辨率:土0. 03Hz
膜厚分辨率: 0. 0136A (铝)
膜厚准确度:士0. 5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置,材料应力,温度和密度
测量速度: 100ms-1s/次, 可设置
测量范围: 500000 (铝)
标准传感器晶体: 6MHz
计算机接口: RS-232/485串行接口( 波特率1200、2400、 4800、9600、 19200、 38400可设置, 数据位: 8,停止位: 1,校验:无)模拟输出: 8比特分辨率, PWmM脉宽调制输出(集电极开路或内部5v输出)
工作环境:温度0-50C,湿度5%- -85%RH,不得有冷凝水珠
外形尺寸: 90mmX 50mmX 18mm


EQ-TM106-2显示

输入电源: AC 220V+10%
输出电源: DC5V 3A
显示器: 12X 2数码管与LED

通讯端口: RS -485 (波特率1200、2400、 4800、 9600、 19200、 38400可设置, 数据位: 8位,停止位: 1位, 奇偶校验:无)

外形尺寸: 182mX 65mmX 160mm


EQ-TM106- 3探头

适用晶片频率: 6MHz
适用晶片尺寸:中14mm
安装法兰: CF35
冷却水管:中3mm,长度300mm、500mm、 1000mm
冷却水压: <0. 3MPa
气动挡板路管:中3mm
压缩空气压力:
烘烤温度:通水状态<200C,不通水状态法兰<100C
电气接口: BCN插座

标准配件
1EQ- -TM106-1监测组件1个2EQ-TM106 -2显示仪1台3EQ -TM106- -3探头1个

质保期
一年质保期,终身维护
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  昌经理:199-5513-0317

  电话:0551-82660502

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