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1200℃三温区三通道混气CVD系统

产品型号:OTF-1200X-80-III-F3LV
产品品牌:上海升利
产品概述:
OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,它是由管式炉,三路浮子流量供气系统组成,其真空度可达到 10-2 torr。

壳体结构

双层壳体结构,并带有分冷

内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿

功率
2.5 KW

电压
AC 208-240V单相, 50/60 Hz

加热元件
Fe-Cr-A1 Alloy doped by Mo

最高工作温度
1200 °C

连续工作温度
1100 °C

最大升温速率
≤20 °C /min

炉管尺寸和材质
石英管: OD: 80mmx ID: 75 mm x Length: 1000 mm


加热区长度

两个加热区:每个温区200 mm (8")
总加热区长度400 mm


温度控制器

两个精密的温度控制器,单独的控制两个温区

PID方式控制通过PWM固体继电器

30可编程智能温度调节仪,可设置30段升降温程序

带有过热和断偶保护


控温精度
+/-1 °C


真空密封系统

两个不锈钢密封法兰,法兰.上有KF-25接口和法兰.上已经安装机械压力表
真空度:通过机械泵真空度可以达到5.5 mtor. (5.5x10-3 tor),如想获得更高的真空度可以采用分子泵,真空度可以达到10-5 tor.泄漏率< 5 m-torr/min


真空泵

采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。

防腐型真空计
可选:本公司进C口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5至1125 Torr.不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

混气系统

3个浮子流量计安装在一个移动架 上,可以推动,可同时混入三种不同气体。
第一路气体流量范围为10-100 c/min.
第二 路气体流量范围为16-160 cc/min.
第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接,来监测混合气体的压力

阀门
四个不锈钢阀[门安装移动架的侧面板上分别在三个气体的入口处

尺寸
炉子:550x380x520
移动架: 600x600x597

开门断电
为保证使用安全,该电炉为开门门断电设计

净重
约60KG

运输重量
600 Ibs

质保期
一年质保期 ,相关耗材除外, 如炉管,密封圈等易耗件

认证
CE认证
所有电器元件(>24V )都通过UL 1 MeT 1 CSA认证
若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

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  昌经理:199-5513-0317

  电话:0551-82660502

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