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恒压控制系统

产品型号:GZK-PID-VRD24/GZK-PID-103G
产品品牌:上海升利
产品概述:
这是一款恒压控制系统,内部含一抽速可达6.6L/s的双级旋片机械泵VRD-24,通过PID控制真空泵的转速来控制抽气速率,进而获得对腔室内压力的精密测量和恒压控制,配合分子泵FF100/110,可进行分子泵工作模式和恒压工作模式两种工作状态切换,与我公司的管式炉、镀膜仪等设备结合,实现PVD、CVD以及PECVD等工艺的压力恒定的精确控制。广泛应用于扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜工艺、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器中。
设备名称
恒压控制系统-CZK- PID-VRD24/G2K-PID-103G .

主要特点
PLC触摸屏控制, 触摸屏显示真空度及各项工作状态, -键式操作, 方便快捷。
通过变频:器来P ID调节真空泵的电机转速从而控制抽气速率,使抽气速率与进气量、漏气率相匹配,从而达到精确的恒压控制。 
600*600m的承重台面,可配合科晶管式炉使用,节约空间。

滚轮上装有制动装置,提高安全性。


基本参数

GZK-PID-VRD24

GZK-PID-103G

输入电源

208-240VAC,单相,50/60Hz

208- 240VAC,单相,50/60Hz

功率

1000

1200

抽速

6. 6L/S

6.6L/s、110L/s

极限真空度

3*10-4 torr (不带负载)

≤4. 5*10-7 torr (不带负载)



真空测量单元
型号: PGC-554-LD
测量范围: 3. 8E-5-1125 Torr


真空泵系统

机械泵

分子泵(GZK-PID-103G)

机械泵型号: VRD-24

分子泵型号: FF100/110

进气口: KF25

抽速: 110L/S

工作环境温度: 5-40C

启动压强:0.75 torr

噪音:≤58 dB

额定转速: 42300 rpm

与腔室连接接口尺寸: KF40



压力恒定控制系统

压力恒定控制范围(进气气氛为氩气) :
760mtorr ( 100Pa) -225torr ( 3000Pa) ( 按照进气量为500sccm)
600mtorr (80Pa) -200torr ( 26660Pa) ( 按照进气量为300sccm)
300mtorr ( 40Pa) -185torr ( 24660Pa) (按照进 量为100ccm)
180mtorr ( 24Pa) -100torr ( 1333Pa) ( 按照进气量为50sccm)

压力恒定控制精度:
180mtorr-2. 5torr ( 土%10)
>2. 5torr- 10torr (土%40)
>10 torr -200torr (土%5)

产品尺寸
L 600mm x W 745mm x H 700mm

产品重量
GZK- PID-VRD24,约40Kg

GZK- PID-103G, 约80Kg

认证
通过cE认证
若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国τσ认证或CAS认证。

质保
一年质保,终生维护


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  昌经理:199-5513-0317

  电话:0551-82660502

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