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Accessory Details
恒压控制系统-CZK- PID-VRD24/G2K-PID-103G .
主要特点
PLC触摸屏控制, 触摸屏显示真空度及各项工作状态, -键式操作, 方便快捷。
通过变频:器来P ID调节真空泵的电机转速从而控制抽气速率,使抽气速率与进气量、漏气率相匹配,从而达到精确的恒压控制。
600*600m的承重台面,可配合科晶管式炉使用,节约空间。
滚轮上装有制动装置,提高安全性。
基本参数
|
GZK-PID-VRD24 |
GZK-PID-103G |
输入电源 |
208-240VAC,单相,50/60Hz |
208- 240VAC,单相,50/60Hz |
功率 |
1000 |
1200 |
抽速 |
6. 6L/S |
6.6L/s、110L/s |
极限真空度 |
3*10-4 torr (不带负载) |
≤4. 5*10-7 torr (不带负载) |
真空测量单元
型号: PGC-554-LD
测量范围: 3. 8E-5-1125 Torr
真空泵系统
机械泵 |
分子泵(GZK-PID-103G) |
机械泵型号: VRD-24 |
分子泵型号: FF100/110 |
进气口: KF25 |
抽速: 110L/S |
工作环境温度: 5-40C |
启动压强:0.75 torr |
噪音:≤58 dB |
额定转速: 42300 rpm |
压力恒定控制系统
压力恒定控制范围(进气气氛为氩气) :
760mtorr ( 100Pa) -225torr ( 3000Pa) ( 按照进气量为500sccm)
600mtorr (80Pa) -200torr ( 26660Pa) ( 按照进气量为300sccm)
300mtorr ( 40Pa) -185torr ( 24660Pa) (按照进 量为100ccm)
180mtorr ( 24Pa) -100torr ( 1333Pa) ( 按照进气量为50sccm)
压力恒定控制精度:
180mtorr-2. 5torr ( 土%10)
>2. 5torr- 10torr (土%40)
>10 torr -200torr (土%5)
产品尺寸
L 600mm x W 745mm x H 700mm
产品重量
GZK- PID-VRD24,约40Kg
GZK- PID-103G, 约80Kg
认证
通过cE认证
若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国τσ认证或CAS认证。
质保
一年质保,终生维护