氮化硅真空烧结炉

关键字：本设备尺寸500*500*1800，承重1500KG,额定温度2000℃，极限真空度10pa，卧式承压容器根据国家标准进行设计制造，为双壁水冷结构，由真空泵组，阀及真空管路组成，按各工艺段的要求采用不同的抽气方式，对炉膛和脱蜡系统抽真空。采用钨铼5-26钨管铠装式双芯热电偶进行测温